GB28275硅基MEMS制造技術(shù)?–?標(biāo)準(zhǔn)名稱

GB28275: Silicon-based MEMS fabrication technology. Specification for KOH etch process

GB28275：硅基MEMS制造技術(shù)，氧化鉀腐蝕工藝規(guī)范?

GB28275硅基MEMS制造技術(shù)?–?適用范圍

規(guī)定了采用氫氧化鉀腐蝕工藝進(jìn)行MEMS器件加工時(shí)應(yīng)遵循的工藝要求。適用于氫氧化鉀腐蝕工藝和管理。?

Scope: This standard specifies the use of potassium hydroxide etch process performed MEMS device fabrication process requirements to be followed.This standard applies to KOH etching process and management.?

GB28275硅基MEMS制造技術(shù)?–?參考標(biāo)準(zhǔn)?

GB/T 26111?微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)，術(shù)語

GB/T 1031產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS），表面結(jié)構(gòu)，輪廓法，表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB 50073-2001?潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

詳情請關(guān)注：中科易朔

出自：GF2021