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拋光硅和鍺晶片的工藝

2021-01-06 10:17 作者:華林科納  | 我要投稿

什么是多孔硅?

在1950年代,貝爾實驗室的兩名工程師試圖開發(fā)一種成形和拋光硅和鍺晶片的工藝。在將HF酸和溶劑與在硅表面上施加的電流混合的各種嘗試之后,除了表面顏色從黑變紅為棕以外,人們認為發(fā)生的事情不多。這些結果寫在一份技術報告中,并被遺忘了約30年,直到Leigh Canham發(fā)現(xiàn)這些化學蝕刻層具有獨特的量子約束性質,在某些情況下還顯示出驚人的光致發(fā)光。

由于這種量子限制性質的(重新)發(fā)現(xiàn),多孔硅不僅對光致發(fā)光變得有趣,而且對于太陽能應用,通過將更多的光或光子捕獲在Si電池內,可以產(chǎn)生更多的電。多孔硅工藝的優(yōu)點在于,根據(jù)化學成分和施加的電流水平的不同,可以對微孔或多孔表面進行微調,以改變從大塊硅片到硅片的折射率,體積密度,表面積和總孔隙率。硅海綿層或一直到硅云或網(wǎng)。

后來,這些高度多孔的結構已被用作薄膜沉積,薄膜,傳感器的外延層,可穿戴電子設備甚至人類皮膚生長和移植的支架。

在90年代,還發(fā)現(xiàn)通過對硅進行孔隙化處理,液體和體液都可以滲入孔隙內部并溶解硅,這以前被認為是不可能的。這為納米藥物和智能植入物打開了許多想法。正如可以調節(jié)孔隙率一樣,也可以調節(jié)多孔硅在體內的溶解速度,從而延長藥物,香水,洗劑以及許多其他物質的釋放和作用。 ?

多孔硅類別:多孔硅有不同類型嗎?

多孔硅通常根據(jù)孔徑分為三類。

1.微孔(孔徑<5nm)

2.中孔(孔徑5nm-50nm)

3.大孔(孔徑> 50nm)

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醫(yī)用多孔硅與電池負極硅相同嗎?

理論上硅是硅,所以電池可以用對人體安全的高純度多孔硅制成。但是,對于具有成本效益的電池陽極而言,用于醫(yī)療應用的高純度和微調電化學蝕刻硅的成本并不實用。

通過以千克和/或噸而不是晶片的形式購買礦用或冶金用散裝硅,可以降低原材料的成本。然而,這是以危害純度的代價為代價的,而純度隨后在體內不再被接受或不安全。

還可以通過不用電刻蝕進一步降低價格。所謂的化學蝕刻或污點蝕刻是非常簡化的過程,其導致較寬的孔徑范圍和總體較低的孔隙率。這對于電池來說效果很好,但是很難為醫(yī)學目的而持久地裝載。

多孔硅如何制成?

硅,氫氟酸,溶劑,電流密度。

通過在硅晶圓的頂部和底部之間施加電壓,Si中的載流子(例如p型Si中的正空穴)會遷移到HF / Si界面。單獨的HF腐蝕掉表面上發(fā)現(xiàn)的任何氧化物,從而形成疏水的Si表面。

HF混合物中的溶劑有助于在HF和Si之間建立穩(wěn)定的接觸,尤其是在原始表面下方深處進行蝕刻時。當Si,HF和+孔匯合在一起時,Si被帶走,產(chǎn)生H2氣體并留下孔??讖接呻娏髅芏龋琀F濃度和Si電阻率(電荷載流子)控制。

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