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掃描電鏡粒度分布測量

2023-05-30 15:29 作者:bili_74204057874  | 我要投稿

在做掃描電子顯微鏡(SEM)測試時,科學指南針檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到,好多同學對sem測試不太了解,針對此,科學指南針檢測平臺團隊組織相關同事對網(wǎng)上海量知識進行整理,希望可以幫助到科研圈的伙伴們;

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大規(guī)模集成電路板上的溝槽深、線寬、圓直徑、正方形、長方形邊長等的測量;粉體(尤其是納米)顆粒粒度測量、標準粒子微球的粒度定值;復合材料(如固體推進劑)中某種顆粒組份粒度分布測量、樣品表面孔隙率測定等…,都可以使用圖像處理、分析功能,有自動和手動?,F(xiàn)在的EDS中都有該軟件包供選擇,用SEM測量測定粉體顆粒粒度是準確、方便和實用的。測量的粒度范圍可以從幾十納米到幾個毫米,是任何專用粒度儀所無法勝任的。尤其當分析樣品的粒度小于3um(例如:超細銀粉、碳粉、鈷藍、Fe2O3、SiO2等)時,超細顆粒極易聚集、團聚、在水中特別難于分散的特性,傳統(tǒng)的濕法粒度分析(例如:Coulter計數(shù)法、激光散射法、動態(tài)光子相關法就無法得到真實的粒度結果。而掃描電鏡粒度分析法(簡稱SEM法)卻不受這些限制,比較靈活,完全能適應這些特殊樣品的粒度分析,同時它屬于絕對粒度測量法。為克服SEM粒度分析法所存在的測定樣品量太少、結果缺乏代表性的缺點,在實際操作時,要多制備些觀察試樣,多采集些照片,多測量些顆粒(300個以上)。超細粉體樣品一般制備在銅柱表面上,希望顆粒單層均勻分散、彼此不粘連。這樣,在不同倍數(shù)下得到照片,便于圖象處理和分析功能自動完成;否則,就要手工測量每個顆粒的粒度,然后進行統(tǒng)計處理。

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