壓力傳感器是獲取壓力信號的“器官”，隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)時代的到來，廣泛應用于航天, 科研, 船舶, 空調(diào)制冷設備等等領域，壓力傳感器的重要地位只會增強，不會削弱。 壓力信號是航空航天、武器裝備、戰(zhàn)車戰(zhàn)艦，汽車、工業(yè)生產(chǎn)、管道、電子消費類產(chǎn)品等軍民領域廣泛關注的一類重要信號。

壓電式壓力傳感器相比較其他類型的壓力傳感器，具有靈敏度高、線性度好、耐高溫等優(yōu)點。如果傳感器密封性不好，外部環(huán)境當中的水分便會進入傳感器內(nèi)部，給石英晶體的電性能造成很大的影響，從而導致壓力傳感器電性能參數(shù)不穩(wěn)定。因此對壓力傳感器進行檢漏試驗對保證石英晶體的穩(wěn)定性、壓力傳感器測量準確性具有十分重要的意義。

-安徽應用時需要壓力傳感器保持全密封結構，因此需要在使用前對壓力傳感器進行檢漏測試，保證壓力測試系統(tǒng)的可靠工作。

國標要求壓力傳感器出廠前必須經(jīng)過泄漏檢測, 傳統(tǒng)檢漏方法一般采取絕壓和密封法或單向, 雙向壓差法檢漏, 隨著壓力傳感器行業(yè)的不斷發(fā)展, 對漏率的要求逐漸增高, 傳統(tǒng)辦法無法檢測出微小的泄漏, 諾益氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)檢漏法日漸成熟,在行業(yè)內(nèi)廣泛流傳.

傳統(tǒng)壓力傳感器檢漏方法

1. 絕壓和密封法

將被測傳感器置于真空容器內(nèi), 接上測試記錄儀, 在達到設定真空度的條件下記下壓力傳感器的零位讀數(shù). 一段時間后再記下零位讀數(shù), 兩者之間的差值應符合相關規(guī)定.

缺點: 人為誤差較大, 耗時, 耗費人力, 無法檢測微小的泄漏

2. 單向和雙向壓差法

將壓差傳感器的高, 低位接口用三通與真空泵連接, 在達到設定真空度的條件下記下傳感器的零位讀數(shù). 一段時間后再記下零位讀數(shù), 兩者之間的壓力變化應符合規(guī)定值. 或者采用正壓法, 即往傳感器內(nèi)沖入高于大氣壓的氣體壓力, 在放置液體中觀察氣泡.

缺點: 人為誤差較大, 耗時, 耗費人力, 無法檢測微小的泄漏

壓力傳感器的密封性是其優(yōu)越性能體現(xiàn)的前提。諾益氦質(zhì)譜檢漏儀針對傳感器泄漏檢測備，可實現(xiàn)高效、準確、快捷的檢漏應用。

適用范圍：

壓力傳感器芯體氦檢漏系統(tǒng)氣密性檢測設備適用于壓力傳感器芯體的氣密性檢測，保證產(chǎn)品的密封等級。

原理及結構：

根據(jù)氦檢漏的基本檢漏原理，用夾具將工件分成兩個獨立的密封腔體：充氦腔及檢漏腔，用氦氣作為示蹤氣體，向充氦腔內(nèi)充入氦氣，然后通過氦檢漏儀探測檢漏腔內(nèi)的的氦氣信號，能高精度迅速準確的判斷工件的泄漏情況。本系統(tǒng)采用2組真空箱，操作者將工件放在夾具內(nèi)，按下啟動按鈕，夾具自動將產(chǎn)品密封，然后全自動地完成大漏檢及強度檢，抽空，充氦，微漏檢測、氦氣排放等整個程序，生產(chǎn)節(jié)拍快，檢漏精度高。