超純水是指除去所有非水分子和離子的水，即其水質(zhì)幾乎達(dá)到了理論上可達(dá)到的最高純度水平。超純水的質(zhì)量指標(biāo)主要包括電導(dǎo)率、總碳含量、微生物污染程度等。電導(dǎo)率是評(píng)價(jià)超純水雜質(zhì)含量的重要指標(biāo)，其值應(yīng)在1-10nS/cm之間?？偺己渴侵杆杏袡C(jī)碳化合物總量，其值應(yīng)當(dāng)小于500ppb。微生物污染程度與用途相關(guān)，如制藥領(lǐng)域的超純水不得含有致病菌和非致病菌的總數(shù)應(yīng)不超過100個(gè)/毫升。

對(duì)超純水的檢測(cè)和評(píng)價(jià)主要分為物理檢測(cè)和化學(xué)檢測(cè)兩種。物理檢測(cè)主要包括電導(dǎo)率、氧化還原電位、顏色、氣味等指標(biāo)的測(cè)試。其中電導(dǎo)率使用電導(dǎo)儀測(cè)定，氧化還原電位使用電位計(jì)測(cè)定，顏色和氣味使用感官分析法測(cè)定?；瘜W(xué)檢測(cè)則要求使用一系列的分析儀器，包括離子色譜儀、高效液相色譜儀、質(zhì)譜儀等，以分析超純水中離子與有機(jī)物質(zhì)的含量。為保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，需要采用高純實(shí)驗(yàn)室中的高純?cè)噭┖透呒兯畼?biāo)準(zhǔn)溶液。

評(píng)價(jià)超純水的質(zhì)量要根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的用途和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制定，如用于半導(dǎo)體、液晶顯示器等電子行業(yè)的超純水標(biāo)準(zhǔn)要求更嚴(yán)格，其他行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)要寬松一些。對(duì)于超純水的評(píng)價(jià)還要考慮其制備工藝和儲(chǔ)存條件等因素，例如，制備時(shí)要注重反應(yīng)器的材質(zhì)、設(shè)備的清潔、水源的治理等問題，而儲(chǔ)存時(shí)要注意避免與污染源接觸、控制溫度等等。

總之，超純水的質(zhì)量檢測(cè)和評(píng)價(jià)是一個(gè)復(fù)雜嚴(yán)謹(jǐn)?shù)倪^程，要求實(shí)驗(yàn)室在各方面都具備細(xì)致的管理和控制，以保證超純水的質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)和實(shí)際需求。