一種能在真空環(huán)境下進(jìn)行物質(zhì)等離子表面處理的低氣壓真空等離子機(jī)器，其基本參數(shù)為激發(fā)頻率、激發(fā)能量、真空度、氣體流量、空腔結(jié)構(gòu)和氣體特性。真空氣路控制閥可實(shí)現(xiàn)對氣路的通斷，從而對真空度和其它參數(shù)進(jìn)行控制。


低氣壓真空等離子機(jī)器真空氣路控制用控制閥，主要有三種類型，分別是高真空氣動擋板閥、電磁真空帶充氣閥、手動高真空角閥，其工作原理大致相同，基本均可通過控制閥實(shí)現(xiàn)真空氣路的通與斷及壓力測量等功能，以保證設(shè)備可靠、穩(wěn)定運(yùn)行，不同類型設(shè)備各自適用的特點(diǎn)有所不同。
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高真空氣動擋板式閥門：
? ? ? ? GDQ又稱高真空氣動擋板閥，一般是在真空管道中低壓等離子體設(shè)備短時間內(nèi)待機(jī)的情況下，真空泵仍能保持工作狀態(tài)，高真空氣動擋板閥可以接通并切斷真空管道中的氣流，從而實(shí)現(xiàn)真空腔內(nèi)抽真空過程的開啟與關(guān)閉。以壓縮空氣為動力的高真空氣動擋板，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，維修方便，是三類真空氣路控制閥中應(yīng)用較多的一種。
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電磁真空帶式充氣閥：
? ? ? ? 電磁真空充氣閥是一種電磁閥類控制閥，主要用于低氣壓真空等離子機(jī)器，真空泵隨操作參數(shù)變化而開啟。其工作原理是：真空泵啟動運(yùn)行時，電磁真空帶充氣閥隨之開啟，真空泵關(guān)閉，此時閥門線圈斷電，依靠機(jī)械力關(guān)閉閥門，可防止真空泵內(nèi)的油氣由于真空腔內(nèi)的負(fù)壓而被倒吸。
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電磁式真空充氣閥具有安裝簡便的優(yōu)點(diǎn)，但穩(wěn)定性較差，如果長期使用，氣閥的磁力會下降，同時復(fù)位彈簧也容易出現(xiàn)反應(yīng)遲緩現(xiàn)象，目前這種控制閥多用于實(shí)驗(yàn)用低壓真空等離子設(shè)備。
? ? ? ? 上面是低氣壓真空等離子機(jī)器真氣路控制的兩種控制閥，如果您想了解更多有關(guān)低低氣壓真空等離子機(jī)器的細(xì)節(jié)或?qū)Φ入x子處理設(shè)備的使用有疑問，請點(diǎn)擊深圳子柒科技在線客服咨詢，深圳子柒科技恭候您的來電！