檢漏技術的發(fā)展

檢漏測量技術在真空行業(yè)中占有非常重要的地位，與真空設備的各種真空指標有關。如何快速準確地發(fā)現(xiàn)檢漏與公司的生產(chǎn)效率和運營成本有關。

檢漏技術是一種快速發(fā)展的技術.多年來，我們創(chuàng)造了許多檢漏方法。

20世紀40年代以前的技術非常簡單，比如氣泡法.水解方法等。當時最大檢漏率只能檢測到10種。^-7Pa·m^3/s。

之后，經(jīng)過不斷的改進和提高，在20世紀50年代至1960年代，研究人員努力提高敏感度，使敏感度一度達到10^-15Pa·m^3/s。

然而，實踐證明，單一追求高靈敏度并不合適，這會給檢漏儀的生產(chǎn)帶來一些麻煩。之后，我們專注于儀器的穩(wěn)定性、穩(wěn)定性、微型化、簡單化、檢漏過程上面。目前常見的氦質(zhì)譜檢漏儀，敏感度為10^-9~10^-13Pa·m^3/s。先進的檢漏儀壓力在幾萬Pa可以測量檢漏。攜帶式檢漏檢測儀，一人即可運輸。甚至有些檢漏檢測儀已經(jīng)可以通過手機使用了。APP遠程操作檢查。

這些技術進步大大提高了檢漏檢測工作的效率和便利性，氦質(zhì)譜檢漏儀的應用已成為檢漏檢測技術的重要途徑。

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理和組成

離子源由離子源由離子源由離子源由離子源由離子源由離子源由離子源、分析器.真空系統(tǒng)、電子電路等電氣部件組成。

目前氦質(zhì)譜檢漏儀基本為磁偏轉(zhuǎn)型，目前為180°以磁偏轉(zhuǎn)型檢漏儀為例。圖1是檢漏儀的原理圖。

在質(zhì)譜室的離子源N中，氣體被水解成離子。在電場的影響下，離子聚焦成束，以一定速度通過間隙S1進入磁分析器，在對稱磁場的作用下，具有一定速度的離子束按圓軌運動。偏移半徑按以下計算公式計算：

R=1.8（MU）^1/2/H

式中，R為偏移半徑（cm）；H為磁場強度（A/m）；M為有效質(zhì)量，即離子質(zhì)量與電荷質(zhì)量的比例；U為加速電壓（V）。

從上面的公式可以看出，當H和U定值時，對應于不同的M，有不同的R。加速電壓U使氦離子束M2只能通過間隙S2、到達收集極K，產(chǎn)生離子流。

使用弱電流測量設備，使其反映在導出儀器和揚聲器設備上。而其他的則不同于其他的。M2的離子束(如圖所示M1.M3)以不同的偏移半徑分離。

深圳華爾升智控技術有限公司是一家具有自主知識產(chǎn)權和持續(xù)創(chuàng)新能力，經(jīng)營業(yè)績穩(wěn)定增長的高科技公司。公司擁有經(jīng)驗豐富的研究應用技術團隊，穩(wěn)健高效的運營團隊和專業(yè)的銷售隊伍，主要成員均有著十多年的氦質(zhì)譜檢漏行業(yè)從業(yè)經(jīng)驗，有豐富的經(jīng)驗和技術實力。

?