可以用什么類型的真空泵來獲得高真空、超高真空和極高真空呢？

通過給主泵配置預(yù)抽泵和前級(jí)泵，才能切實(shí)有效地達(dá)到高真空、超高真空和極高真空的水平。

前級(jí)泵將壓力降低到主泵可以工作的水平，不過，將不同類型的真空泵搭配起來以實(shí)現(xiàn)最佳性能并非易事。

沒有任何現(xiàn)成的抽氣系統(tǒng)可以同時(shí)滿足所有的應(yīng)用、可能出現(xiàn)的情況和要求，因?yàn)橛袩o數(shù)的影響因素需要考量。

選擇哪種真空泵（包括前級(jí)泵和主泵）取決于很多因素，包括噪音/振動(dòng)、成本（生產(chǎn)成本和維護(hù)成本）、對(duì)污染的耐受性、占地面積、抗沖擊能力等等。每種類型的真空泵都有其自身的優(yōu)勢(shì)和劣勢(shì)。

主要的前級(jí)泵包括：隔膜泵、渦旋泵、多級(jí)羅茨泵、螺桿泵。

能夠達(dá)到高真空、超高真空和極高真空的主泵包括：擴(kuò)散泵、低溫泵、吸氣劑離子泵、鈦升華泵、非蒸散型吸氣泵、渦輪分子泵。

真空泵的分類

動(dòng)量傳輸式真空泵（例如渦輪分子泵）具有許多優(yōu)點(diǎn)：操作簡(jiǎn)單，維護(hù)量少，提供無碳?xì)浠衔锏牟僮鳝h(huán)境，不需要再生，在高真空、超高真空和極高真空范圍內(nèi)運(yùn)行具有高抽速。

渦輪分子泵的缺點(diǎn)包括：具有活動(dòng)件意味著它們會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)和電噪聲，對(duì)輕氣體的抽速較低，對(duì)機(jī)械沖擊/振動(dòng)敏感，對(duì)異物進(jìn)入敏感。

氣體捕集泵（例如吸氣劑離子泵）也有一系列優(yōu)點(diǎn)：由于沒有運(yùn)動(dòng)件，所以消除了振動(dòng)和電噪聲；捕集泵采用超過108灰度的耐輻射材料制造；如果移除磁鐵，可以將烘烤溫度升到450℃（長(zhǎng)時(shí)間的高溫烘烤對(duì)每一個(gè)高真空、超高真空和極高真空系統(tǒng)都至關(guān)重要）；捕集泵幾乎不需要維護(hù)。

不過，與其他類型的真空泵相比，吸氣劑離子泵的缺點(diǎn)是對(duì)惰性氣體的抽氣效率低；在高真空、超高真空和極高真空范圍內(nèi)抽氣速度下降；需要高電壓和磁場(chǎng)；而且泵體較重。

近年來，隨著技術(shù)的進(jìn)步，真空泵產(chǎn)品也在逐步“進(jìn)化”，很大程度上避免或減輕了此前產(chǎn)品的部分缺點(diǎn)。

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