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hbm電子元件Z6FC3/30Kg

2023-05-30 14:49 作者:廣州洋奕電子科技  | 我要投稿

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結果硼擴散區(qū)便形成應變電阻,并用襯底形成一個整體,當它受到壓力作用時,應變電阻發(fā)生變化,從而使輸出發(fā)生變化。

??壓阻式力敏傳感器有靈敏度高、精度高、體積小、重量輕、工作頻率高、結構簡單、工作可靠、壽命長等特點。

??電容式力敏傳感器近來得到了迅速發(fā)展,這種傳感器的核心部分是對壓力敏感的電容器。力敏電容器的電容量是由電極面積和兩個電極間的距離決定。

??當硅膜片兩邊存在壓力差時,硅膜片產(chǎn)生形變,電容器極板間的間距發(fā)生變化,從而引起電容量的變化。這樣,電容變化量與壓差有關,因此,就可作為力敏傳感器。它與壓阻式力敏傳感器相比,具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、壓力量程大等特點。表5-1 是按工作原理對力敏傳感器進行分類,本章主要介紹半導體應變片構成的力敏傳感器的應用技術。


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