Example；

1.玻璃基板和金膜，在金層上蝕刻孔陣列（陣列中孔的間距為100nm，亞波長級別）。

（1）模擬設備的方法--FDTD：運行仿真

優(yōu)點：比制造原型機速度快、材料便宜；

FDTD?

解決任意復雜幾何形狀的Maxwell方程；

適合特征尺寸約為波長或更小的器件；

FDTD非常適合需要寬帶結果的情況。

仿真設置：

1、標準工作流程

設置：

（1）確定材料，創(chuàng)建需要的結構

（2)模擬區(qū)域中設置邊界條件、網格和模擬時間；

（3)添加光源到模擬區(qū)域，添加監(jiān)視器記錄數據

模擬前：

檢查：材料屬性、 內存是否充足

運行

運行后：監(jiān)視器收集數據（繪制數據圖/使用腳本執(zhí)行其他處理分析結果）。

創(chuàng)建需要的結構的過程中：

多次修改結構的參數，重復，直到找到最佳設計參數。

結果的優(yōu)化：內置的參數掃描、優(yōu)化工具

收斂測試：高精度結果

圖形布局編輯器