項(xiàng)目一：測量薄膜下石墨的厚度

檢測方案：

將產(chǎn)品平置，上下各一個探頭，進(jìn)行對射測厚，通過傳感器軟件獲取產(chǎn)品的厚度值。

1、采用D15A32R02S3的傳感器。

2、總厚度依次選取圈內(nèi)位置測量，薄膜測量則選取石墨附近位置的薄膜厚度。

測試結(jié)果：

1、位置1重復(fù)13次的動態(tài)重復(fù)精度為0.135微米，位置2重復(fù)13次的動態(tài)重復(fù)精度為0.053微米，位置3重復(fù)13次的動態(tài)重復(fù)精度為0.073微米，位置4重復(fù)13次的動態(tài)重復(fù)精度為0.175微米。

2、產(chǎn)品4個位置總厚度的平均值-薄膜厚度的平均值=4個位置石墨平均厚度

產(chǎn)品清單：

項(xiàng)目二：測量石墨的厚度

檢測方案：

將產(chǎn)品平置，上下各一個探頭，進(jìn)行對射測厚，通過傳感器軟件獲取產(chǎn)品的厚度值。

1、采用D15A32R02S3的傳感器。

2、石墨上隨機(jī)取4個位置測試。

測試結(jié)果：

位置1重復(fù)25次的動態(tài)重復(fù)精度為0.31微米，位置2重復(fù)25次的動態(tài)重復(fù)精度為0.168微米，位置3重復(fù)25次的動態(tài)重復(fù)精度為0.052微米，位置4重復(fù)25次的動態(tài)重復(fù)精度為0.064微米。

產(chǎn)品清單：