太陽能是一種快速增長的能源形式，太陽能市場在過去十年中也取得了長足發(fā)展。利用太陽能的佳方式是光伏轉換，就是利用光伏效應，使太陽光射到硅材料上產生電流直接發(fā)電。以硅材料的應用開發(fā)形成的光電轉換產業(yè)鏈條稱之為“光伏產業(yè)”，包括高純多晶硅原材料生產、太陽能電池生產、太陽能電池組件生產、相關生產設備的制造等。

　　太陽能是一種利用太陽電池半導體材料的光伏效應，將太陽光輻射能直接轉換為電能的一種新型發(fā)電系統(tǒng)，有獨立運行和并網運行兩種方式。

　　光伏硅晶片是由硅材料加工而生的一種圓片，是生產光伏太陽能的一種必須材料，其多晶硅、太陽能電池生產制造大部分需在凈化車間內進行。其主要配套設施有：

　　1、從硅片制備到器件生產分為腐蝕、印刷等階段，區(qū)分為Class 1K 、10K分產品需求有不同等級凈化車間隔間。

　　2、外延片、芯片、封裝相關生產流程；

　　3、太陽能電池片的工藝流程為：裝片→超聲波清洗→制絨→去離子清洗→IPA脫水→擴散→等離子體邊緣刻蝕→去磷硅玻璃→IPA脫水→PECVD→電機燒結→分類檢測→包裝入庫。

　　4、壓縮空氣、氣體、有機排氣、酸堿排氣、熱排氣、制程冷卻水、真空、純水等生產配套系統(tǒng)；

　　根據(jù)不同工藝區(qū)間，設置不同凈化等級的凈化車間，區(qū)分不同凈化隔間的聯(lián)系與分隔，不同隔間之間的壓差與氣流走向，是光伏太陽能凈化車間設計時要重點考慮的方向。按照生產工藝，合理化劃分人物流走向，既滿足生產習慣，又做到節(jié)能環(huán)保。比如在上述系統(tǒng)中，擴散和PECVD是關鍵工序，各工序必須制訂嚴格的工藝要求和工藝參數(shù)。

　　光伏新能源凈化工程系統(tǒng)用的新風空調機組（MAU）和循環(huán)空調機組（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷凍水，加熱采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕，潔凈蒸汽由純水經潔凈蒸汽發(fā)生器產生。

　　1.CP室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/小時，CP室工藝設備用酸量較多，采用全新風空調機組（MAU-3）+過濾器送風口（HEP-ABOX）的空調方式。其氣流流程為：新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-過濾器送風-潔凈區(qū)。

　　2.ML室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/小時，采用新風機組（MAU）+循環(huán)機組（AHU）+過濾器送風口（HEP-ABOX）的空調方式。新風接自其它系統(tǒng)共用MAU-1、2新風組。

　　3.CP/CVD室、LP/CVD室、潔凈包裝間凈化級別為6 級，換氣次數(shù)取為50次/小時，采用新風機組（MAU）+循環(huán)機組（AHU）+過濾器送風口（HEP-ABOX）的空調方式。新風接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風組。

　　4.7級、6 級的潔凈室采用的氣流形式為頂部過濾器送風口送風，房間側下百葉風口回風。其氣流流程為：新回風混合!中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-過濾器送風口-潔凈區(qū)-房間側下百葉回風口-回風管-新回風混合。

　　5.洗凈室、品質檢查室凈化級別為7 級，采用新風機組（MAU）+循環(huán)機組（AHU）+風機過濾器單元（FFU)）的空調方式。采用的氣流形式為頂部FFU送風，房間側下百葉風口回風。FFU滿布率為33%，洗凈室、品質檢查室對NH4+、SQx濃度有要求，需在循環(huán)機組（AHU）內增設化學過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風混合-化學過濾器（NH4+）-化學過濾器（SQx）-中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-送風靜壓箱-風機過濾器單元（FFU）-潔凈區(qū)-房間側下百葉回風口-回風管-新回風混合。新風接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風組。

　　好多光伏凈化車間建設完成后，都會遇到同樣的問題。潔凈度已經達標，為什么產品上仍有污染？相同的工藝和環(huán)境參數(shù)，為什么我們的能耗比別人高？怎樣的光伏凈化車間潔凈室規(guī)劃設計方案是節(jié)能的、符合工藝要求的，投資省、運行費用低、生產效率高？這是暖通工程師和甲方都需要思考的問題。