書籍：《炬豐科技-半導體工藝》

文章：石墨烯生物傳感器的制作工藝

編號：JFKJ-21-189

作者：炬豐科技

摘要

? 本文研究了用于電解制造的潔凈室工藝用于生物傳感的晶片尺度石墨烯場效應晶體管。我們的制造該工藝克服了兩個主要問題:去除石墨烯圖案化后的表面殘留物和金屬觸點的介質鈍化。無殘留石墨烯轉移過程是通過使用預轉移，犧牲金屬掩膜保護整個晶圓，除了周圍區(qū)域石墨烯薄膜在其上轉移和隨后繪制的溝道、源極和漏極。在掩模溶解后，可以得到干凈的柵電極。多層二氧化硅/ SiNx介質鈍化利用了SiO2對石墨烯和基材的良好附著力材料和SiNx優(yōu)異的抗?jié)B性。它阻礙天然成核中心和斷裂缺陷的傳播通過層，保護從長時間的暴露到所有的共同東西。在生物化學工作中發(fā)現(xiàn)的溶劑，與常用的聚合物鈍化相反。因為濕蝕刻不允許在要求的水平上控制光刻過程，即反應離子蝕刻提出了一種采用犧牲金屬停止層的鈍化工藝，并應用于鈍化的圖形化層。該工藝實現(xiàn)了在晶圓規(guī)模上具有高重現(xiàn)性的器件。 ?

關鍵詞:石墨烯;?精密加工;?生物傳感器;?介質鈍化;?干凈的表面

介紹 ?

? 自石墨剝離獲得石墨烯以來，石墨烯已被大量探索應用由于其優(yōu)異的性質，如高載流子遷移率，低本征電子噪聲，化學穩(wěn)定性，對附近電荷的高靈敏度， 記錄地表體積比。石墨烯已被用作各種電子生物傳感系統(tǒng)，具有高靈敏度。其中電化學傳感器和場效應晶體管是最常見的。石墨烯利用了石墨烯對電場和電荷的靈敏度，以產生低工作狀態(tài)下的傳感器輸出信號電壓。

材料和方法?略

討論與結果?略